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產品詳情

  • 產品名稱：OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器內藤naitokikai

  • 產品型號：
  • 產品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
與波長相關的高精度多層膜測量！ 銷售中心-重慶內藤naitokikai
詳情介紹：

產品信息

特征
  • 使用光譜干涉法的薄膜厚度測量儀
  • 搭載高精度FFT膜厚解析引擎（磚利第4834847號）
  • 可由光纖構建靈活的測量系統
  • 可集成到各種制造設備中
  • 薄膜厚度可實時測量
  • 支持遠程操作和多點測量
  • 使用長壽命、高穩定性的白色 LED 光源

 

測量項目
  • 薄膜厚度

 

應用
  • 光學膜（硬涂層、AR膜、ITO等）
  • FPD相關（resist、SOI、SiO2等）

設備配置

單點型

設備配置單點

  • 半導體晶圓面內分布測量
  • 玻璃基板面內分布測量

 

多點式

設備配置 多點

  • 實時測量
  • 流向質量控制
  • 與真空室兼容

 

橫移式

設備配置 遍歷

  • 實時測量
  • 寬度方向質量控制
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