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產品名稱：OTSUKA大塚電子顯微分光膜厚儀OPTM系列naitokikai
產品型號：
產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：

OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區域的**反射率來實現高精度薄膜厚度和光學常數分析的設備。各種薄膜、晶圓、光學材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量。可以進行1秒/點的高速測量。此外，它配備了軟件，即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學常數。銷售中心-重慶內藤naitokikai

詳情介紹：

特征

膜厚測量所需的功能集成在測量頭中
使用顯微光譜法進行高精度**反射率測量（多層膜厚度、光學常數）
每點1秒以內的高速測量
實現顯微鏡下寬測量波長范圍（紫外到近紅外）的光學系統
區域傳感器**機制
一個簡單的分析向導，即使是初次使用的用戶也可以進行光學常數分析
配備可自定義測量順序的宏功能
也可以分析復雜的光學常數（多點分析法）
300mm載物臺兼容
支持各種自定義

可以根據樣品的形狀和位置輕松定制測量順序。

規格

類型	OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長范圍	230-800 納米	360-1100nm	900-1600nm
膜厚范圍^*1	1 納米至 35 微米	7 納米至 49 微米	16nm 至 92μm
樣本量^*2	*大200×200×17mm
光斑直徑	φ5、φ10、φ20、φ40

*以上規格適用于自動XY載物臺。

*1 薄膜厚度范圍換算為_{SiO2 。}

*2 如需 300 mm 載物臺，請聯系我們。

類型	自動XY載物臺類型	固定架式	埋頭式
外形尺寸（寬×深×高）	556×566×618mm	368×468×491mm	210×441×474mm 90×250×190mm ^*
重量	66公斤	38公斤	23 公斤 4 公斤^*
*大功耗	AC100V±10V 500VA	AC100V±10V 400VA