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產品名稱：日本ULVAC愛發(fā)科重慶內藤優(yōu)勢出售
產品型號：ULDEX-1600
產品廠商：ULVAC愛發(fā)科
產品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

批量式干法蝕刻設備 ULDEX-1600

詳情介紹：

ULDEX-1600是一種太陽能電池硅基板，它是一種提供引入蝕刻氣體并利用高頻功率形成表面凹凸結構的工藝的器件。通過在硅基板的表面形成低反射的凹凸結構，可以提高太陽能電池的光吸收率，有助于提高電池轉換效率。

特征

高產量：4000pcs./hr
結構簡單：腔內無驅動
維護簡單

采用

單晶硅襯底
多晶硅襯底
類單晶硅板

規(guī)格

		ULDEX-1600
晶圓尺寸 (mm)		□ 156
托盤安裝數(shù)量（□ 156mm）		100 件。
房間組成	1) 工藝室	2 間客房
	2) 傳送機	選項
吞吐量		4000（ULVAC 標準條件）