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產品詳情

  • 產品名稱：重慶販賣活化退火設備ULVAC愛發科

  • 產品型號：PFS系列
  • 產品廠商：ULVAC愛發科
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
退火裝置 活化退火設備 PFS系列
詳情介紹：
退火裝置

活化退火設備PFS系列

PFS系列是與SiC工藝等需要高溫處理的工藝相匹配的活化退火設備。*大可支持 Φ150 mm 的電路板尺寸。

特征

  • *大支持Φ150mm板
  • 可加熱至2000°C
  • 兼容高真空
  • 批量處理25張/批次（也可提供5張加工機）

采用

  • 用于 SiC 功率器件
  • 研究與開發
  • 用于批量生產
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