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產品名稱：ULVAC愛發科離子注入機重慶內藤販賣
產品型號：IMX-3500
產品廠商：ULVAC愛發科
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簡單介紹：

離子注入機用于研發的中電流離子注入機 IMX-3500

詳情介紹：

離子注入機

用于研發的中電流離子注入機IMX-3500

中電流離子注入機IMX-3500是一款*大能量為200 kV、晶圓尺寸可達8英寸的離子注入機，是高校研發的理想選擇。

特征

它的*大晶圓尺寸為 8 英寸，并配備了與非晶基板兼容的壓板。
除了氣體源，B、P、As離子都可以作為離子源，也可以使用易于**處理的固體蒸發源。
高壓端子部分采用與量產設備相同的配置，確保高可靠性。

規格

活力	30-200keV（可選3-200keV兼容）
*大束流	11B + 400μA (200keV) 31P + 600μA (200keV)
*小束流	150nA
離子種類	B、P、As、Si、Ge、Sb、In 等