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產品名稱：原裝進口棒式離子發生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高
產品型號：AeroBarMP Model 5635
產品廠商：SIMCO思美高
產品價格：0
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簡單介紹：

模型5635航空酒吧MP離子發生器是對應于先進半導體制造過程中開發的產品，如100納米原裝進口棒式離子發生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高以下的微粒管理的應用程序中和超低顆粒是必要的地方原裝進口棒式離子發生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高

詳情介紹：

擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發生器AeroBarMP Model 5635
模型5635航空酒吧MP離子發生器是對應于先進半導體制造過程中開發的產品，如100納米以下的微粒管理的應用程序中和超低顆粒是必要的地方

（詳情請咨詢TEL:18375760285QQ:1280713150 白先生）

http://www.tamasaki.cn/

特點

單晶硅電極在全球范圍內具有****的采用記錄，避免了由于超低顆粒特性和電極材料導致的金屬污染風險
通過原始MP（脈沖調制）方法有效地將離子帶入目標的高效靜電消除
即使在100毫米距離和離子平衡下也可以使用小的潛在擺動特性，而且在棒長度上幾乎沒有偏差
智能控制電路自動管理離子發生狀態和離子平衡
可拆卸1/4圈可更換電極有助于減少維護工時
由于MP系統的特點，潛在擺幅非常小，所以設置簡便同時，小幅擺幅有效地將長期離子平衡保持在管理標準之內
設置半導體前端EFEM對應的長度條
24 V DC驅動控制器的緊湊設計
高水平的全球支持網絡

規范

5635型AeroBar MP

輸入電壓	24 V DC +/- 10％
輸出電壓	高達約13.5kv pp可調
安裝距離	100毫米至1000毫米（無空氣吹掃）
離子生成方法	電暈放電方式 MP（脈沖調制）方式調制頻率1?33Hz
離子平衡	自動平衡調整方法 <+/- 10 V由于位置正下方的位置差異<+/- 10 v （600 mm距離）
電極	單晶硅電極可交換
吹掃氣體	清潔干燥空氣或N 2
*大吹掃壓力	310 Kpa
臭氧量	<0.05 ppm（24小時積分值）
信號輸出	報警IO開集輸出
維	高度78毫米x深度34毫米x長度如下
維	450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 毫米
外觀	ABS樹脂

擴展ISO Class 1,10 nm？
關于擴展ISO等級1,10納米？ION Systems專門定義了清潔度的定義，以便應對精細的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數目的同一允許數將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺）至少一個粒徑10nm的

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產品名稱：原裝進口 棒式離子發生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高

特點

規范

產品名稱：原裝進口棒式離子發生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高